装机培训报名(2025年度第3期)| TESCAN MAGNA 热场发射扫描电镜(东校园)

发布人:张博琳

 

       广州校区东校园分中心TESCAN MAGNA热场发射扫描电镜(下周安装能谱附件)已经安装调试完毕,即将对校内开放试运行。为更好服务校内师生,中心特邀请资深工程师开展仪器装机培训,欢迎校内师生报名参加。能谱附件安装后将进行第二次培训,对该仪器有需求的师生敬请关注。

      一、培训安排

时间:2025年1月10日,10:00

地点:东校园樱园4号楼C座104

内容:仪器构造、工作原理、基本操作

人数:4人

报名方式:扫码报名,先到先得,企业微信通知报名结果

 

(报名二维码)

      因实验室场地空间有限且为保证培训效果,每次培训各课题组限1人参加本次培训仅限本寒假用机需求大的课题组,后续还会组织相关培训。敬请扫码加入企业微信群,获取有关该仪器设备的最新通知。

 

       二、功能设置

     (1)仪器型号

TESCAN MAGNA

     (2)技术指标

1.二次电子分辨率:≤0.6nm @15 kV,≤0.9 nm@1 kV

背散射电子像分辨率:≤2.0nm@30kV

STEM分辨率:≤0.5nm@15kV

2.大工作距离的分析条件下的保证分辨率:≤3.0nm ( WD 10mm,5kV,5nA)

3.加速电压:0.01kV ~ 30kV连续可调

4.束流范围:热场发射电子枪束流 2pA-20nA

5.放大倍率:10X – 2,000,000X

6.电子枪:肖特基(Schottky)热场发射电子枪

7.自动调整功能:具有自动透镜控制、自动合轴、自动聚焦、消像散、反差、亮度调节功能,样品台导航控制等功能,并兼有手动调整功能

8.物镜:无漏磁设计

9.电子光学系统模式:SEM模式、大景深模式、加速电压减压模式

10.样品台:5轴马达驱动全对中样品台

11.样品台移动范围: 行程X≥70mm、Y≥50mm、 Z≥2~ 41mm,倾斜≥-5°~+70°,旋转360°

12.样品更换:配备样品交换室,同时具备预抽室和大开门样品更换方式

13.具备图像处理系统

14.配置等离子清洗器

15.探测器:双探头硅漂移(SDD)电制冷探测器,探头面积≥100mm2,超薄窗设计

 

      三、主要功能

1.图像观察:TESCAN MAGNA为高分辨热场发射扫描电镜,可对微米到纳米材料及介孔材料等进行形貌观察。具备二次电子,背散射及YAG背散射探头,透射电子探测器。

2.元素分析:双探头硅漂移(SDD)电制冷探测器,探头面积≥100mm2,可进行纳米级别材料的能谱分析

3.样品表面污染清洗:配置等离子清洗器