仪器试运行（南校园）| 扫描电镜-阴极荧光联用系统 Gemini SEM460

      分析测试中心广州校区南校园分中心扫描电镜-阴极荧光联用系统已完成安装调试，即日起至2026年6月30日面向校内外开放试运行。

一、设备信息

仪器型号：Gemini SEM460
厂家：Zeiss（蔡司）
放置地点：广州校区南校园551栋物理楼104场发射扫描电镜室

二、仪器配置

1. 电子枪：肖特基（Schottky）热场发射电子枪
2. 加速电压：0.1 kV~30 kV连续可调
3. 束流：10 pA~40 nA
4. 二次电子分辨率：0.7 nm@15 kV、1.2 nm@1 kV
5. 探测器系统
◉ 二次电子：SE2、Inlens
◉ 背散射电子：BSD、EsB
◉ 能谱（EDS）：检测范围4 Be~98 Cf
◉ 背散射电子衍射（EBSD）：配备磷屏和TKD探头，TKD-空间分辨率优于5 nm
◉ 阴极荧光（CL）：空间分辨率20 nm，光谱范围185~1000 nm，配备成像、谱图与角度分辨成像等模块

三、主要功能

1. Inlens与SE2：表面形貌结构
2. BSD与EsB：表面形貌衬度
3. EDS（能谱）：元素定性/定量分析
4. EBSD（背散射电子衍射）：晶体结构分析、晶体取向与织构分析、晶界与应变，其中TKD（透射菊池衍射模式）用于纳米晶的晶体学分析
5. CL（阴极荧光）：可分析半导体、地质、钙钛矿、磷光体、稀土等材料，获取以下信息：
◉ CL Intensity-发光强度的空间分布图
◉ Spectrum-发射光谱
◉ 角度分辨成像-发光的方向性

四、送样须知

1. 测试前建议提前沟通，明确样品信息、测试需求及相关细节；
2. 样品须干燥，高真空下稳定、无挥发性、无腐蚀性和无放射性，磁性样品送样时务必告知详情；
3. 块状/粉末样品均可，样品尺寸尽量小（推荐5×5×2 mm），长宽高最大不可超过5cm，不导电样品建议进行镀膜处理（平台可提供）；
4. EBSD样品要求：表面平整、无应力、导电；
5. TKD样品要求：厚度小于200 nm，并制备在TEM的铜网上；
6. CL样品要求：表面平整、导电。

五、联系方式

联系人：许瑞梅、黄烘
联系电话：020-84110783或企业微信
大仪平台（https://sharing.sysu.edu.cn/home/#/home）预约二维码：