仪器试运行（珠海校区）| 聚焦离子束扫描电子显微镜（FIB-SEM）
分析测试中心珠海校区分中心聚焦离子束扫描电子显微镜（FIB-SEM）已经安装调试完毕，即日起至2025年6月13日进入试运行阶段，欢迎校内师生预约测试！
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仪器信息
1. 设备厂家：赛默飞 Thermo Fisher
2. 设备型号：Helios 5 CX
3. 放置地点：珠海校区海琴5号楼负一层B122
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主要技术指标和功能
扫描电子束SEB：
电子发射源：肖特基场发射电子枪
加速电压：0.2 - 30 kV
电子束流强度：0.8 pA - 176 nA
镜筒：Elstar 超高分辨率电子镜筒
二次电子Secondary Electron（SE）图像分辨率：15 kV下0.6 nm，1 kV下 1.0 nm
背散射电子Backscattered Electron（BSE）图像分辨率：30 kV下2.0 nm
聚焦离子束FIB：
离子枪：液态Ga离子源
加速电压：0.5 - 30 kV
电子束流强度：1.0 pA - 100 nA
镜筒：Tomahawk HT离子镜筒
二次电子Secondary Electron（SE）图像分辨率：30 kV下2.5 nm
X射线能谱仪EDS：
生产厂家：布鲁克Bruker
型号：QUANTAX XFlash® 7
能量分辨率：≤ 127 eV (Mn-Kα)
有效晶体面积：100 mm2，超薄窗设计
可分析元素范围：Be 4 - Cf 98
配备钨、碳双源的气体注入系统Gas Injection System (GIS)：
可在离子束和电子束诱导下进行W钨沉积和C碳沉积
配备纳米机械手：
机械手漂移 ＜ 50 nm/min
全方位重复精度＜ 150 nm
搭载Smart Align自动合轴技术，配备减速模式
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主要应用
1. 对材料进行微纳结构观察分析；
2. 对材料进行微纳结构的加工；
3. 高质量定点挖坑、提取、焊接、减薄，制备透射电镜TEM样品；
4. 对材料进行自动切片的三维重构分析；
5. 可直接导入Bitmap/CAD文件，进行离子束沉积，加工复杂图形；
6. 对材料进行微区元素分析。
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预约方式
选择相应仪器点击“预约”
或者识别下方二维码进行预约
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联系和交流
1. 咨询、送样、申请自主操作培训和考核请企业微信联系汤敏老师，tangm57@mail.sysu.edu.cn；
2. 本仪器设有专属 QQ 群（群号：668437415），群内将发布相关仪器培训信息与学习资料，欢迎校内师生入群交流。
分析测试服务指引