应用培训报名（2025年度第27期）| 飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）（东校园）

分析测试中心东校园分中心飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）已经完成安装调试，即将对校内用户开放试运行。为了更好地服务校内师生，分析测试中心拟于5月14日至5月20日（共5个工作日）开展仪器应用培训，欢迎有需求的校内师生报名参加。

一、培训安排

1. 仪器基础原理讲解和参数设定

2. 深度分辨和灵敏度的优化：薄膜样品、复合多层样品等

3. 横向空间分辨的优化和成像分析：二维成像、三维成像

4. 质量分辨的优化和质谱分析

5. FIB的应用及条件设置

6. Hybrid的原理、条件设置及应用

7. 数据处理软件的功能介绍和技巧

5人

该仪器操作复杂且培训时间较长，因场地有限，我们将按加入企业微信群的顺序并结合实际测样需求安排校内师生参加此次培训。

（企业微信群）

      中心后续还将组织不同功能及软件使用的培训工作，敬请关注。扫码加入企业微信群，获取该仪器设备的最新通知。

二、功能配置

IONTOF GmbH M6

1. Bi源（Nanoprobe 50）

2. M6主体：真空系统（无水无油真空系统，分析室，内烘烤），五轴样品台与样品托，样品导航、 PhotoBox与二次电子探测器，飞行时间（TOF） 质量分析器、 二次离子检测器与EDR，电荷补偿系统，SurfaceLab 7 软件

3. 双束离子源（DSC O2/Cs）

4. 气体团簇离子源（GCS）

5. FIB (Focus Ion Beam)

6. 加热冷却系统

7. M6 Hybrid SIMS 和 ToF MS/MS

1. 横向分辨率：<50 nm，深度分辨率：<1 nm；

2. 质量分辨率（m/∆m）：>17000（28SiH+）；>26000（>200 amu）；>17000（绝缘样品PET，104 amu）

3. 质量范围：1~12000 amu；

4. 质量精度：1 mamu（质量数 <100），10 ppm（质量数 >100）

5. 检测灵敏度：ppm/ppb

6. 信噪比：R=I (28Si+) / I (28.5u) >2×105

7. 检测元素：氢、氦在内的全部元素

三、主要功能

1. 在超高真空下得到样品表层的真实成分分析。

2. 可分析包括氢、氦在内的全部元素。

3. 可检测同位素，用于同位素分析或利用同位素提供的信息。

4. 通过扫描一次束或直接成像实现微区面成分分析。

5. 配备GCIB及Oribitrip系统，能分析化合物，通过分子离子峰得到准确的分子量，通过碎片离子峰确定分子结构。特别是可检测不易挥发且热不稳定的有机大分子。

6. 通过逐层剥离实现各成分的深度剖析（depth profiling），可完成三维微区成分分析。

7. 配备FIB系统，可对样品进行切割后再对切割表面进行成分分析。

8. 转移仓传输：可通过转移仓进行传输样品，针对钙钛矿薄膜以及锂离子电池等空气敏感样品的准原位测试需求。

9. 加热冷却样品台：适用于原位观察样品（加热不释气体，非液体降温固化）。

四、应用领域

飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）是一种非常灵敏的表面分析技术，主要用于材料表面以下纳米级别的浅表层分析，能够检测元素周期表中所有元素及其同位素。检测限在ppm级别（特殊情况可至ppb）。可以提供样品表面、薄层、界面的详细元素和分子信息，并能提供全面的三维分析。可应用于有机、无机和生物样品表面成分分析，特别是在半导体、电池、涂层、玻璃、金属、陶瓷、生物材料、药品等领域有广泛应用。