应用培训报名（2025年度第24期）| X射线光电子能谱仪（深圳校区）

分析测试中心深圳校区分中心X射线光电子能谱仪（X-ray Photoelectron Spectrum，XPS）已经安装调试完毕，即将对校内用户开放试运行。为了更好地服务校内师生，分析测试中心邀请资深工程师于5月6日至5月8日开展仪器应用培训，欢迎有需求的校内师生报名参加。

一、培训安排

光电子能谱仪基本原理、仪器结构、基本操作、数据处理及拟合

8人

扫码报名，先到先得，企业微信通知报名结果。为保证培训效果，本次培训各课题组建议1人参加。后续中心还会组织相关培训，敬请关注。

（报名二维码）

二、功能配置

日本岛津

Kratos AXIS SUPRA+

1. X射线源：大束斑聚焦单色化Al Kα辐射，最大功率600W；

2. 电子能量分析器：165mm平均半径双层半球扇形，最佳电子能谱能量分辨（优于0.43eV，Ag 3d5/2）和最佳化学状态成像空间分辨（优于1μm，快速平行成像，锐利刀口样品）；

3. 光电子检测器：128物理通道的双层二维阵列延迟线（DLD），同时实现采谱和成像，可实现动态XPS分析；

4. 荷电中和系统：无阴影单电子源， PET的O-C=O的C 1s 峰的能量分辨≤ 0.68eV，C-C/C-H的 C 1s 峰计数率≥ 20kcps；

5. 化学状态成像：快速平行成像，空间分辨率优于1μm

6. UPS测试。

7. 深度剖析：氩等离子体及氩等离子体团簇

8. IPES测试。

三、应用领域

光电子能谱仪是作为一种常见的表面分析工具，广泛应用于材料、化学、环境、医学、半导体等研究领域，可对样品进行表面元素及化学状态、价带电子态的表征，可对多层膜结构进行深度剖析。