Regulus 8230 高分辨冷场发射扫描电镜

放置地点：测试大楼128

联系人：程小宁老师，020-84110783，chengxn7@mail.sysu.edu.cn

仪器性能指标：

冷场发射电子枪

分   辨   率：0.8nm@ 15kV ，1.1nm@ 1kV

STEM分 辨 率：0.6nm@ 30kV；

平插能谱的空间分辨率：10nm

主要功能及对应探头：

图像观察：二次电子，YAG背散射探头，透射电子

元素分析:  斜插无窗 EDS，平插Flat-QUAD EDS

防污染：冷井

主要应用：

 冷场发射高分辨扫描电镜，可对纳米材料/介孔材料等进行形貌观察。配备空间分辨率为10nm的平插能谱和YAG背散射电子探测器，可进行纳米级别材料的能谱分析和背散射电子图像观察。