Gemini 500 高分辨热场发射扫描电镜

放置地点：测试大楼124

联系人：许瑞梅老师，020-84110783, pusxrm@mail.sysu.edu.cn

仪器性能指标：

热场发射电子枪

分   辨   率：0.6 nm @ 15kV ，1.1 nm @ 1kV

STEM分 辨 率：0.6 nm @ 30 kV；

平插能谱的空间分辨率：10nm

主要功能及对应探头：

图像观察：二次电子（HE-SE2，In-lens），背散射电子（EsB，BSD4）

                  透射电子（STEM)

元素分析： 斜插EDS，平插Flat-QUAD EDS

样品清洁：等离子清洗（Plasma)

主要应用：

        G500在高电压和低电压条件下，都具有较高的分辨率和成像质量，可以满足材料科学、物理、化学、生命科学、半导体等学科对材料表面形貌和元素分析的要求；复合式物镜，可观察磁性样品；配备双能谱，其中平插能谱（Flat-Q）的空间分辨率高（10nm），可获得高质量的元素面分析结果。配备12座STEM样品台，可对样品内部进行观察，对TEM样品进行筛选。