电子探针（EPMA，Electron Probe Microanalyzer）

发布人：唐建锋 发布日期：2021-12-27

 

仪器型号：JXA-8530F Plus

放置地点：测试大楼123

联  系  人：赵文霞老师，020-84115809，zhaowx@mail.sysu.edu.cn

Ø性能指标：

•热场发射电子枪      空间分辨率优于0.1 µm
•二次电子图像分辨率：3nm@30kV
•背散射电子图像
•最大束流：2µA， 束流稳定度≤ ±0.3%/h
•WDS：配置5道谱仪
•能量分辨率：优于129eV（Mn-Kα ），5B~92U
•阴极发光：CL
Ø主要应用：
       该仪器能够对微小区域所含元素进行定性或定量分析，元素范围B~U，包括点分析、线分析和面分析，还能够进行形貌观察，包括二次电子像和背散射电子像，广泛应用于金属、材料、地质等各个领域。仪器配置了CL探测器，可以进行阴极发光成像等。