仪器试运行（珠海校区）| 场发射透射电子显微镜（TEM）

发布人：张博琳 发布日期：2025-05-20

分析测试中心珠海校区分中心的场发射透射电子显微镜（TEM）主体部分已经安装调试完毕，即日起至2025年6月19日进入试运行阶段，欢迎校内师生预约测试！

 

为更好满足校内师生的测试需求，场发射透射电子显微镜拟对校内师生开放自主上机服务。校内师生经过该仪器的自主操作培训和考核，获得相应自主上机操作资格后，可预约该仪器进行自主上机。

 

 

01

仪器信息

1. 设备厂家：

日本电子JEOL（主机）和Gatan （相机和能量过滤分析系统）

2. 设备型号：

JEM-F200 （主机）/ ClearView® 1195（相机）/ GIF Continuum 1065（能量过滤分析系统）

3. 放置地点：

珠海校区海琴5号负一层B121

 

02

主要技术指标和功能

电子枪：

类型：冷场发射电子枪Cold Field Emission Gun（CFEG）

亮度：8×108 A / cm2･sr

能量分辨率：＜ 0.3 eV （200 kV下的零损失峰的半峰宽）

双合轴电压：200 kV 和 80 kV

TEM透射模式：

点分辨率： ≤ 0.23 nm @200 kV

线分辨率： ≤ 0.1 nm @200 kV

放大倍数：20 ~ 2.0 M倍

TEM束斑尺寸：1 ~ 20 nm

束斑漂移：＜ 1.0 nm/min

支持模式：TEM模式下的BF明场像、DF暗场像

STEM扫描透射模式：

分辨率： ≤0.16 nm @200 kV

放大倍数：200 ~ 150 M倍

支持模式：STEM模式下的HAADF高角度环形暗场像、DF暗场像、ABF环形明场像、BF明场像

能谱仪：

搭载双能谱探头JED-2300T

探头有效晶体面积：2*100 mm2

固体角度：1.7 sr

能谱分辨率：≤ 133 eV (Mn-Kα)

可分析元素范围：Be 4 ~ U 92

支持元素点、线、面扫描分析

相机：

型号：Gatan ClearView® 1195底插式CMOS相机

分辨率：4096*4096

刷新率：4K*4K时25帧/秒，2K*2K时100帧/秒，1K*1K时200帧/秒

操作软件：Digital Micrograph

存储格式：dm 3/4/5系列原始格式，可与tiff/jpg/emf/bmp/gif等格式自由转换

其他功能：实时漂移校准，Low dose低剂量观测，4K广色域显示器等。

能量过滤分析系统：（该功能暂未启用）

型号：Gatan GIF Continuum 1065

能量分辨率：≤ 1.2 eV

GIF系统合轴电压：200 kV 和 80 kV

GIF系统配备第二套BF明场像和DF暗场像探头

主要功能：EELS（电子能量损失谱），实时零损峰（ZLP）校正，自动动态聚焦控制，STEM Spectrum Imaging（8000 谱/秒的采谱速度），实时STEM EELS-Mapping，连续 EFTEM（能量过滤TEM），自动能量过滤设置，EFTEM Spectrum Imaging等。

SAED电子衍射模式：

相机长度：15 ~ 2000 mm

会聚束衍射（CBED）

 

03

其他功能与技术

1. 样品台与驱动

五轴全自动测角台：最大倾角X=±35°，Y=±30°

皮米级移动精度：采用Pico stage驱动技术

2. 全自动进样出样系统SPECPORTER

支持自动进出样品杆，同时支持切换为手动进出，典型换样时间为120秒

3. 配备原位高温样品杆，从室温到800 ℃，实时观察材料动态变化

4. 可做Beam Shower电子束清洗，减少碳氢化合物污染 

5. 双操作模式：两套控制面板，支持人机分离（不同房间）和机前操作（荧光屏前）

6. 一键式自动升降高压


 

04

主要功能及应用

1. 主要功能：TEM透射像，HRTEM高分辨率透射像，BF明场像，DF暗场像，STEM扫描透射像，HAADF-STEM高角环形暗场扫描透射像，ABF-STEM环形明场扫描透射像，SAED选区电子衍射，CBED会聚束电子衍射，EDS能谱点、线、面扫分析，EELS电子能量损失谱，STEM EELS-Mapping，STEM Spectrum Imaging，EFTEM能量过滤TEM，EFTEM Spectrum Imaging，Beam Shower电子束清洗等；

2. 对材料进行微观结构表征，包括材料的形貌、原子像、晶体结构、界面等，能获得STEM模式和TEM模式下的原子像；

3. 实现原子级分辨率的晶格畸变、位错、掺杂等缺陷的观察和分析；

4. 通过EDS和Gatan GIF双系统，用两种技术手段来实现元素的点、线、面分布分析；

5. 零损失峰成像，过滤非弹性散射电子，提升图像衬度和分辨率；

6. 电子能量损失谱获取轻中重元素的种类、含量及化学键合状态（如氧化态、配位环境）等；

7. 配备原位加热样品杆，可实时观察材料在高温的动态过程；

8. 四个制样辅助设备：分中心有FIB-SEM、离子减薄仪、精研一体机、电解双喷仪。


 

05

预约方式

登录“中山大学大型科研仪器开放共享平台”

选择相应仪器“预约”

或者识别下方二维码进行预约

 


 

06

联系和交流

1. 咨询、送样、申请自主操作培训和考核请企业微信联系汤敏老师，tangm57@mail.sysu.edu.cn；

2. 本仪器设有专属 QQ 群（群号：643452867），群内将发布相关仪器通知、培训信息和学习资料等，欢迎校内师生入群交流。