应用培训报名（2025年度第30期）| 热场发射扫描电镜（TESCAN MAGNA）（东校园）

分析测试中心东校园分中心热场发射扫描电镜（TESCAN MAGNA）已经完成安装调试，并在中山大学大型科研仪器开放共享平台开放预约。为更好服务校内师生，中心特邀请资深工程师开展仪器应用培训，欢迎校内师生报名参加。

一、培训安排

仪器构造、工作原理、基本操作及应用案例

5人

扫码进群报名，先报先得，同时考虑实际测样需求

（企业微信群）

二、功能配置

TESCAN MAGNA

1. 二次电子分辨率：≤0.6 nm@15 kV，≤0.9 nm@1 kV

背散射电子像分辨率：≤2.0 nm@30 kV

STEM分辨率：≤0.5 nm@15 kV

2. 大工作距离的分析条件下的保证分辨率：≤3.0 nm ( WD 10 mm、5 kV、5 nA)

3. 加速电压：0.01 kV～30 kV连续可调

4. 束流范围：热场发射电子枪束流 2 pA-20 nA

5. 放大倍率：10 X～2,000,000 X

6. 电子枪：肖特基（Schottky）热场发射电子枪

7. 自动调整功能：具有自动透镜控制、自动合轴、自动聚焦、消像散、反差、亮度调节功能，样品台导航控制等功能，并兼有手动调整功能

8. 物镜：无漏磁设计

9. 电子光学系统模式：SEM模式、大景深模式、加速电压减压模式

10. 样品台：5轴马达驱动全对中样品台

11. 样品台移动范围: 行程X≥70 mm、Y≥50 mm、 Z≥2～41 mm，倾斜≥-5°～+70°，旋转360°

12. 样品更换：配备样品交换室，同时具备预抽室和大开门样品更换方式

13. 具备图像处理系统

14. 配置等离子清洗器

15. 探测器：双探头硅漂移（SDD）电制冷探测器，探头面积≥100 mm²，超薄窗设计

三、主要功能

1. 图像观察：TESCAN MAGNA为高分辨热场发射扫描电镜，可对微米到纳米材料及介孔材料等进行形貌观察。具备二次电子，背散射及YAG背散射探头，透射电子探测器。

2. 元素分析：双探头硅漂移（SDD）电制冷探测器，探头面积≥100 mm²，可进行纳米级别材料的能谱分析

3. 样品表面污染清洗：配置等离子清洗器